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freiberg弗萊貝格MDpicts微瞬態(tài)譜儀
點(diǎn)擊次數(shù):1158 更新時(shí)間:2021-05-12

freiberg弗萊貝格MDpicts微瞬態(tài)譜儀

 微波探測(cè)光誘導(dǎo)電流瞬態(tài)譜儀對(duì)于半導(dǎo)體材料少子壽命,電學(xué)參數(shù)和界面陷阱等進(jìn)行非接觸和非破壞性測(cè)試。硅| 化合物半導(dǎo)體 | 氧化物| 寬帶隙材料| 鈣鈦礦 | 外延層

半導(dǎo)體材料的基礎(chǔ)研究和開(kāi)發(fā)
配置選項(xiàng)
靈敏度:對(duì)半導(dǎo)體材料電學(xué)缺陷有高靈敏度
溫度范圍:液氮(77K)到500K,可選:液氦(4K)或更高的溫度
衰減常數(shù)范圍:20ns到幾十ms
玷污檢測(cè):電學(xué)陷阱基本性能確定:
激活能和陷阱的俘獲截面,受溫度和注入水平影響的少子壽命參數(shù)等
重復(fù)性:>99.5%,測(cè)試時(shí)間< 6 0 分 鐘 ,液氮消耗:2L/run
靈活性: 從365nm到1480nm,根據(jù)不同材料選擇不同波長(zhǎng)的激發(fā)光源
輔助功能:基于IP的系統(tǒng),允許在任何地方進(jìn)行遠(yuǎn)程操作和技術(shù)支持

半導(dǎo)體材料性能研究和開(kāi)發(fā)

+  半導(dǎo)體材料質(zhì)量控制
+  缺陷種類(lèi)確定:激活能,俘獲截面等參數(shù)

freiberg弗萊貝格MDpicts微瞬態(tài)譜儀

測(cè)試原理

MDpicts采用先進(jìn)的光誘導(dǎo)電流瞬態(tài)譜測(cè)試技術(shù)(PICTS)是非接觸測(cè)試并具備更高的靈敏度,在各種半導(dǎo)體材料研究中開(kāi)辟了新的應(yīng)用。這個(gè)技術(shù)對(duì)半導(dǎo)體材料中的電學(xué)缺陷行為,可以提供與D L T S 技術(shù)相媲美的靈敏度,并給出載流子陷阱在材料中的主要復(fù)合中心。

 

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